EUV に関するニュース

4億ドルの巨獣：半導体製造の時代を画す機械

オランダのASMLが開発した次世代High-NA EUV露光装置は、価格4億ドル・重量150トン超という半導体製造史上最高額の単一設備であり、2ナノメートルプロセスの量産実現に向けてムーアの法則の限界を再び塗り替えようとしている。