海外 ASML高NA EUV装置準備完了、次世代AIチップ離陸間近 ASMLは最新の高NA EUV露光装置が重要なテストを通過し、大規模生産準備段階に入ったと発表した。この技術により2nm以下のプロセスノードが可能となり、次世代AIチップの製造に道を開く。 ASML 高NA EUV AI芯片 半导体制造 2026年2月28日 325