米国がASMLの最高級チップ製造装置が中国にある可能性を指摘、ASMLは否定

近日、米国当局からの告発が半導体業界に衝撃を与えた。米国側は、ASMLの最高級極紫外線（EUV）露光装置が中国に転送された可能性があると主張した。これに対しASMLは迅速に声明を発表して否定し、同社が常にすべての輸出管理法規を厳格に遵守していることを強調するとともに、関連する告発について内部調査を開始したと述べた。この「羅生門」的事件の背後には、技術封鎖と商業利益の間で揺れるグローバルな半導体サプライチェーンの微妙なバランスが映し出されている。

事件の経緯：誰が「嘘をついている」のか？

事情に詳しい関係者によると、米国の情報機関は定期的な監視の中で、中国台湾地区への輸送が予定されていたASMLのNXE:3400C型EUV露光装置の物流追跡信号が、中国大陸のある港湾付近に一時的に現れたことを発見したという。その後の経路では当該装置が最終的に目的地に到着したことが確認されているものの、この異常な動きはワシントンを警戒させるには十分だった。これに対しASMLは、同社は世界で最も厳格な出荷追跡システムを保有しており、すべての装置は出荷から納品まで複数の税関検査および許可証の確認を経なければならないと回答した。「不正な転送があれば、直ちに警報が作動する」としている。

「ASMLは1億5000万ユーロの装置を破壊することはあっても、輸出規則に違反するリスクを冒すことはない。」――ASMLの幹部に近い業界アナリストの評価。

商業的論理：なぜASMLはリスクを冒せないのか？

商業的観点から見れば、ASMLが装置を中国の顧客に密輸する動機は全く存在しない。まず、EUV露光装置の単価は1億5000万ユーロを超え、かつ世界でその操作能力を持つ顧客はTSMC、サムスン、インテルなど少数に限られている。仮に1台の装置が中国大陸に「流入」したとしても、それを稼働させることのできる下流の工場は存在しない――中国は現時点でEUVに対応した成熟したプロセス技術を持っていないためだ。次に、ASMLの輸出許可証はオランダ政府とEUが共同で発行しており、規則に違反した場合、天文学的な罰金に直面するだけでなく、いかなる国への先端装置の輸出も永久に禁止される可能性があり、同社の時価総額は瞬時に崩壊しかねない。

業界背景：EUV露光装置がなぜ「王冠の宝石」なのか？

EUV露光装置は5ナノメートル以下のプロセスのチップ製造に不可欠なコア装置であり、重量は180トンに達し、10万点以上の部品を含み、輸送にはボーイング747貨物機5機を要する。現在、世界でこれを製造できるのはASMLのみであり、年間生産能力は約35台に過ぎない。米国が主導するワッセナー協定および対中輸出管理規制により、ASMLは2018年以降、中国へのEUV装置の販売を禁じられている。中国の半導体企業は7ナノメートル以上の成熟したプロセス分野では大きな進歩を遂げているが、最先端プロセスにおいては依然として装置封鎖の制約を受けている。

編集後記：告発の背後にある駆け引き

今回の論争は、米国の「CHIPS・科学法」の実施における重要な時期と重なっており、ワシントンは技術デカップリングを通じて中国の半導体台頭を抑制しようとしている。しかしASMLが指摘するように、商業利益と地政学は常に一致するわけではない。中国が先端装置にアクセスすることを完全に遮断することは、むしろ中国自身による代替手段の自主開発を加速させる可能性がある。実際、中国の露光装置メーカーはすでに90ナノメートルプロセスの国産化を突破しており、28ナノメートルノードへの前進を目指している。米国が「千人を誤って断罪しても構わない」という姿勢を貫けば、最終的に半導体サプライチェーン全体の再編を余儀なくされ、ASMLなどの装置メーカーが真っ先に損失を被ることになりかねない。

現在、オランダ政府はASMLに対し、当該装置の出荷から現在に至るまでの完全な物流データの提供を求めている。事件の真相が明らかになるにはまだ時間を要するが、いずれにせよ、これは改めて証明している――半導体という最も敏感なテクノロジー分野において、いかなる高性能装置の移動も、大国間の猜疑心と摩擦を引き起こし得るということを。

本記事はTechCrunchより翻訳・編集したものです。